Haastattelut
Yi Zou, Vanhempi Tekninen Johtaja, ASML Silicon Valley – Haastattelusarja
Yi Zou johtaa data science -tuotekehitystiimien ASML Silicon Valleyssä. ASML kehittää monimutkaisia ohjelmisto- ja mittaluratkaisuja, jotka vastaavat pienempien solmujen kasvavaan monimutkaisuuteen.
Mikä oli se asia, joka kiinnosti sinua lähtemään tekniikan pariin?
Lapsena olin aina erittäin utelias ja kiinnostunut ymmärtämään, miten asiat toimivat. Tämä johti minun kiinnostukseen tieteen ja teknologian aiheita kohtaan lukiossa, mutta nopeasti tajusin, että insinöörit olivat ne, jotka suunnittelivat ja kehittivät ratkaisuja oikeisiin ongelmiin ja tekivät positiivisen vaikutuksen maailmaamme.
Yliopistossa arvostin myös sitä, miten insinööritutkinnot keskittyivät kehittämään muita tärkeitä taitoja, joita voidaan soveltaa useisiin eri uraan. Insinöörit hankkivat vahvan analyyttisen ajattelun ja kriittisen ongelmanratkaisun taidot, sekä kyvyn siirtyä suuresta kuvaan yksityiskohtaiseen lähestymistapaan, jota tarvitaan ideoiden toteuttamiseen – luovasta konseptista järjestelmän suunnitteluun ja lopputuotteeseen.
Voitko kertoa meille, miten tulit Sr. Director of Engineering -tehtävään ASML:lle?
Vuonna 2014 liityin ASML:ään GlobalFoundriesista, yhdysvaltalaisesta puolijohdevalmistajasta, joka suunnittelee ja valmistaa piisiruja. ASML Silicon Valleyssä olen johtanut useita tutkimushankkeita, jotka keskittyvät arvioimaan ja kehittämään litografia-tekniikoita, joita käytetään parantamaan piisirujen valmistusprosessia, kuten parannettua kuviotarkkuutta.
Samanaikaisesti olen rakentanut tiimin, joka on erikoistunut koneoppimiseen. Olemme osoittaneet syvän oppimisen soveltamisen mahdollisuuden useisiin kriittisiin sovelluksiin, mikä on johtanut uuden tuotesarjan kehittymiseen. Olen myös johtanut tiiviisti yhteistyötä johtavan piisirujen valmistajan kanssa tutkimalla data science -sovelluksia suurten määrien valmistusfabrikoissa. Tämä on johtanut useiden uusien lisäarvojen luomiseen ASML:lle. Viimeisimmän ylennykseni jälkeen 2019 olen jatkuvasti laajentamassa data science -tekniikoita laajempaan asiakastamme.
ASML on innovaatiojohtaja puolijohdeteollisuudessa, ja se tarjoaa piisirujen valmistajille kaiken tarvittavan – laitteet, ohjelmistot ja palvelut – massatuotantoon litografian kautta. Voitko lyhyesti kertoa, mitä litografia on piisirujen suunnittelun suhteen?
ASML:n tekemä työ on avainasemassa tehdäkseen piisiruista tehokkaampia, halvempia, energiatehokkaampia ja yleisempiä. Se alkaa litografiamme, joka on perustuu projektoriin, joka käyttää ultraviolettivaloa luomaan miljardeja pieniä rakenteita ohuisiin piisiruihin.
Valo heijastetaan piirroskuvan (tunnetaan myös nimellä “retikeli” tai “maski”) päälle, joka tulostetaan. Optiikka keskittää kuvan piisiruun, joka on aiemmin pinnoitettu valolle herkkäksi kemikaaliksi. Kun alttamattomat osat poistetaan, paljastuu kolmiulotteinen kuva. Prosessi toistetaan useita kertoja askel- ja skannausjärjestelmässä, joka mitataan ja altistetaan rinnakkain.
Nämä piisirut muodostavat miljardeja yhteyksiä useiden kerrosten piisiruilla. Yhdessä nämä rakenteet muodostavat integroidun piirin eli piisirun. Mitä enemmän piisiruja voidaan tiivistää piisiruun, sitä nopeampi ja tehokkaampi se on.
ASML:llä on kaksi päätyyppiä litografialaitteita. Voitko aluksi selittää, mitä EUV-litografia on?
EUV edustaa suurinta askelta litografian kehityksessä alusta lähtien. Haasteellista EUV-valossa on, että se absorboidaan kaikessa, myös ilmassa. Se on myös erittäin vaikea tuottaa.
EUV-litografialaitteessa on suuri tyhjiökammio, jossa valo voi matkustaa riittävän pitkälle, jotta se voi laskeutua piisiruun. Valo ohjataan sarjan ultra-heijastavia peilejä. EUV-järjestelmä käyttää korkean energian laseria, joka ampuu mikroskooppisen tippaan sulatettua tinaa (joka liikkuu 50 000 kertaa sekunnissa) ja muuttaa sen plasmaaksi, josta emittoituu EUV-valoa, joka sitten kohdistetaan säteeseen.
Voitko selittää, miten DUV-litografialaitteisto eroaa EUV-litografialaitteistosta?
Meidän DUV-litografialaitteistomme on teollisuuden työhevonen, jota käytetään valmistamaan laaja valikoima puolijohdesolmuja ja -teknologioita. EUV käytetään DUV-järjestelmien rinnalla edistyneimmissä solmuissa ja kriittisissä kerroksissa edullisen skaalautuvuuden ajamiseksi.
Yksi ASML:n vaikuttavimmista asioista on, miten yhtiö kunnostaa vanhoja laitteita, kuten “klassisia” PAS 5500 ja TWINSCAN-litografialaitteita. Mitä ne tällä hetkellä kunnostetaan?
Molemmat Mooren laki ja enemmän kuin Moore ajavat kysyntää kohtuuhintaisille ratkaisuille, mikä ajaa myyntiä sekä uusia TWINSCAN upotus- ja kuivausjärjestelmiä että kunnostettuja PAS 5500 ja TWINSCAN askel- ja skannausjärjestelmiä.
Mikä on nykyinen nanometrin aallonpituus, jonka ASML voi käsitellä?
ASML:n edistyneimmät EUV-litografialaitteet toimittavat 13,5 nm aallonpituuden EUV-valoa.
Onko sinulla jotain muuta, mitä haluaisit jakaa ASML:stä?
ASML Silicon Valleyssä työskentelee erittäin erikoistunut ohjelmistotiimi, joka on omistautunut laajentamaan Mooren lakia hyödyntämällä ainutlaatuista asiantuntemusta fysikaalisen mallinnuksen ja numeeristen algoritmien kehittämisessä.
Tämä asettaa meidät keskittymään useisiin avainasioihin, mukaan lukien:
- Hyödyntämään kasvavaa laskentatehoa edistääksemme koneoppimisen sovelluksia, joita käytetään litografian prosessin simuloimiseen Mooren lakia laajentamaan,
- Yhdistämään laskenta- ja mittalukykymme parantamaan mallin tarkkuutta sekä generoimaan ja hyödyntämään suuren määrän laadukkaita kuvadata paremman kuviokohdistusteknologian kehittämiseksi, ja
- Tukeaksemme ja laajentamaan laskentaratkaisujamme seuraavan sukupolven EUV-litografian tielle tukemaan Mooren lakia.
Vaikka nämä ovat eri tuotantotielle, kunkin rinnakkaisen polun on ratkaistava edistääksemme jatkuvasti piisirujen valmistajien aggressiivisia skaalautumispyrkimyksiä. Ja koneoppiminen on mahdollistava teknologia, jota käytetään kussakin polussa. Innovointimme ei ainoastaan ajaa eteenpäin koko kuluttajateknologiaindustriaa, vaan myös ajaa edelleen innovaatioita omassa tuotteessamme, kun saamme kasvavaa laskentatehoa.
Kiitos, kun vastasit kaikkiin kysymyksiimme. Lukijat, jotka haluavat oppia lisää, voivat vierailla ASML Silicon Valley
